Φίλτρα στεγανοποίησης C υψηλής απόδοσης IGS επιφανειακής τοποθέτησης για συστήματα παροχής αερίου ημιαγωγών
Περιγραφή
Τα φίλτρα επιφανειακής τοποθέτησης HENGKO έχουν σχεδιαστεί για να καλύπτουν τις απαιτητικές απαιτήσεις των ολοκληρωμένων συστημάτων αερίου που χρησιμοποιούνται σε εργαλεία OEM ημιαγωγών. Προσφέροντας κορυφαία στον κλάδο διήθηση στα 0,003 µm, αυτά τα φίλτρα εξασφαλίζουν εξαιρετική απόδοση και αξιοπιστία με απόδοση αναχαίτισης σωματιδίων ≥99,9999999% (9-LRV) στα 120 slpm.
Κατασκευασμένα από στιβαρό ανοξείδωτο χάλυβα 316L με ηλεκτροφόρηση σε σκόνη για το στοιχείο και το περίβλημα του φίλτρου, αυτά τα φίλτρα συμμορφώνονται με τις προδιαγραφές SEMI F86-0304, διαθέτοντας εξαρτήματα δύο θυρών προσαρμοσμένα για συστήματα διανομής αερίου 1,125" με διαμόρφωση C-seal. Υποστηρίζουν μέγιστη πίεση εισόδου 3,4 MPa στους 100°C και μέγιστη διαφορά πίεσης λειτουργίας 0,69 MPa στους 100°C.
Αυτά τα εξειδικευμένα φίλτρα, συμβατά με τις προδιαγραφές στεγανοποίησης τύπου C και W, επιτυγχάνουν καθαριότητα κατάντη με απελευθέρωση σωματιδίων.
Με φινίρισμα επιφάνειας Ra< 1,6 µm στο εξωτερικό και RaΜε εσωτερικό πάχος < 0,13 µm, έχουν σχεδιαστεί για να αντέχουν σε υψηλές θερμοκρασίες έως 460°C. Σχεδιασμένα για εύκολη ενσωμάτωση και αναβαθμίσεις αρθρωτού σχεδιασμού, αυτά τα φίλτρα απλοποιούν την εγκατάσταση και τη συντήρηση, συμβάλλοντας στη βελτιστοποίηση της απόδοσης του συστήματος σε εφαρμογές παροχής και ελέγχου αερίου ημιαγωγών.
Χαρακτηριστικό προϊόντος
▶ Συνολική κατασκευή από ανοξείδωτο χάλυβα 316L
▶ Μικροσκοπικός σχεδιασμός, συμπαγής κατασκευή, εξοικονόμηση χώρου
▶ Εξαιρετικά χαρακτηριστικά αντικατάστασης και εκρόφησης αερίου
▶ Ανθεκτικό σε υψηλή θερμοκρασία, υψηλή πίεση και διάβρωση
▶ Ηλεκτρογυαλισμένο περίβλημα από ανοξείδωτο ατσάλι 316L
▶ Εύκολη και αποτελεσματική εγκατάσταση και συντήρηση
▶ Μηχανική σφράγιση, δομικά μη συγκολλημένη στο μέσο
Φύλλο δεδομένων
| Τεχνικές παράμετροι | Αξίες |
|---|---|
| Υλικό στοιχείου φίλτρου | 316L σκόνη από ανοξείδωτο χάλυβα |
| Υλικό στέγασης | 316L ανοξείδωτο ατσάλι |
| Μέγιστη πίεση εισόδου | 3,4 MPa @ 100°C |
| Μέγιστο Διαφορικό Λειτουργίας | 0,69 MPa @ 100°C |
| Ποσοστό διαρροής επαλήθευσης ηλίου | 1x10⁻¹¹ cc/λεπτό |
| Ρυθμός διαρροής δοκιμής ηλίου | 1x10⁻⁹ cc/λεπτό |
| Επιφανειακή επεξεργασία | Εξωτερική Επιφάνεια Ra< 1,6 μm |
| Εσωτερική επιφάνεια Ra< 0,13 μm | |
| Μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας | 460°C |
| Αποδοτικότητα Αναχαίτισης Σωματιδίων | ≥99,9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS αναφοράς, όλα τα σωματίδια) |
| Καθαριότητα κατάντη | Απελευθέρωση σωματιδίων:< 0,03 σωματίδια/λίτρο (< 1 σωματίδιο/ft³) |
| Πτητικές ουσίες:< 10 ppb υγρασίας | |
| Μέγεθος αναχαίτισης σωματιδίων | ≥0,003 μm |
| Εύρος ροής | 0 ~ 120 slpm |
Μέγεθος
Εδώ είναι ο αριθμός ανταλλακτικού που μπορείτε να παραγγείλετε και οι λεπτομέρειες μεγέθους:
| Μοντέλο προϊόντος | Ρυθμός ροής | Ύψος H (mm) | Ακρίβεια φιλτραρίσματος | Επίπεδο καθαρισμού |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Τυπικές εφαρμογές
Για χρήση με W-seal και C-seal, συστήματα παροχής αερίου επιφανειακής τοποθέτησης 1,125” και 1,5”.
Στείλτε μας το μήνυμά σας:
